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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆研发线生活配套的超去离子水系统的,每天都在诞生含硅生活污水150吨。生活污水里面的虽无血本属,但硅分量高易水垢,且电阻值率需达到了18MΩ·cm功能使用。原本有治理 方法无发满足了新出台的《智能电子工业企业水污染源物废气量准则》(GB39731-2020)特别废气量规定值。 废渣因素特征 重点污染问题物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(比表面积0.1-1μm) 独特请求 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 水体质量性能指标 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物结构很复杂 进行处理工艺设计程序流程 科技创新使用"梯级膜破乳+电去阴离子"乐队组合施工工艺: 微滤预净化处理 :1μm工业陶瓷膜拦阻大科粒硅,通量形成80LMH 亚铁离子置换树脂胶 :D201大孔聚酯树脂取舍性物理吸附硅酸分子结构 二次RO装置 :第二种段收废率60%,第二种段进行高脱硼膜零件 EDI电去阳离子 :感应电流密度计算公式2A/m²,一直清掉的残留物铁离子 红外光谱臭氧消毒 :254nm分光光度计线使用量40mJ/cm² 技能突出点 開發专属阻硅剂(可挥发胺类包覆物),廷迟膜水污染时间段3倍 EDI引擎革新流道设计制作,硅除去率上升至99.8% 线硅具体测试仪(校正范畴0.1-500μg/L)改变招商精准把控 电脑运行成效显著 经三通探测: 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含量的从8μg/L降为0.3μg/L 系统收购率从原40%提升自己至68% 膜变更定期提升至5年,年运动成本低拉低35%

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