该晶圆造成厂处在苏北地域,常见生产加工的8寸大半导体器件晶圆,每日焦化废水排出物量约800吨。可能生产加工的整个过程中施用巨大氢氧化钠开始晶圆蚀刻,引致焦化废水里氟化物氧浓度高至200-300mg/L,远超国度排出物要求(10mg/L低于)。
化工废水的成分及的来源
工业废水通常出自于4个过程:
晶圆蚀刻工艺
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸钠及极富巨资属
化学反应物理打磨抛光(CMP)电镀废水
:含纳米级级硅颗粒状、有机质络合剂
机器设备清洁工作污水
:含异丙醇、挥发酚等生物碳物
补救工序具体步骤
选取"催化石雕文化沉淀自己+水泥混凝土石雕文化沉淀自己+深度.滤过"三級净化处理系统:
6级处里
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,行成氟化钙奠定,氟化物取除率达85%
二次元处理
:使用PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),彻底清除胶体溶液态造成的大气污染物
两级办理
:完成多导电介质油烟净化器器和亲水性炭吸附物,出水出水氟化物含量固定在8mg/L低于
重点设施设备属于:pH自动化调控程序、斜管沉淀物池、板框刮刀离心机(工业废水脱水处理)。
最中效率
业务启用五年期污染监测数剧体现 :
氟化物平均水平氧浓度:7.2mg/L(大于的检测标准规定)
COD清除率:92%
活性污泥含水分率:≤65%
年收废氟化钙副产的约150吨,构建材料化充分利用